深圳中科飞测申请寻焦等方法专利,提高确定目标高度距离的准确性
发布日期:2025-05-25 18:09 点击次数:146
金融界2025年5月17日消息,国家知识产权局信息显示,申请一项名为“寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质”的专利,公开号CN119996830A,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本申请公开了一种寻焦方法、半导体的检测方法、检测设备及存储介质,属于半导体检测技术领域。所述方法包括:控制承载有参考物与待测物的载物台与物镜在垂直方向相对运动,使得载物台上所承载的参考物与物镜在垂直方向上依次处于多个不同的高度距离;其中,该载物台具有第一承载区域和第二承载区域。在每个高度距离时,控制对该载物台上的参考物进行拍摄,得到参考物在每个高度距离时的参考图像。基于该参考物在多个不同的高度距离时的参考图像,确定目标高度距离,目标高度距离用于确定对待测物进行扫描时载物台或待测物与物镜之间初始的高度距离。本申请通过引入参考物,能够提高确定出的目标高度距离的准确性。
天眼查资料显示,深圳中科飞测科技股份有限公司,成立于2014年,位于深圳市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目247次,财产线索方面有商标信息250条,专利信息944条,此外企业还拥有行政许可38个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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